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多晶硅的高重频皮秒脉冲激光损伤研究

李星辰 吴强 孙鹏飞 蔡鹏程 辛敏思

科技创新与应用Issue(34)：63-64,2.
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科技创新与应用Issue(34)：63-64,2.

多晶硅的高重频皮秒脉冲激光损伤研究

李星辰 1吴强 1孙鹏飞 1蔡鹏程 1辛敏思1

作者信息

  • 1. 长春理工大学,吉林 长春 130000
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摘要

关键词

多晶硅/高重频脉冲/激光损伤/损伤机理

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李星辰,吴强,孙鹏飞,蔡鹏程,辛敏思..多晶硅的高重频皮秒脉冲激光损伤研究[J].科技创新与应用,2016,(34):63-64,2.

科技创新与应用

2095-2945

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