发光学报2016，Vol.37Issue(11)：1372-1377,6.DOI:10.3788/fgxb20163711.1372
室温生长AZO/Al2 O3叠层薄膜晶体管性能研究
Properties of AZO/Al2 O3 Stacked Thin Film Transistors Prepared at Room Temperature
摘要
关键词
叠层薄膜晶体管/室温工艺/二维电子传输分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宁洪龙,蔡炜,徐苗,兰林锋,王磊,彭俊彪,李正操,曾勇,姚日晖,刘贤哲,陶瑞强,郑泽科,方志强,胡诗犇,陈建秋..室温生长AZO/Al2 O3叠层薄膜晶体管性能研究[J].发光学报,2016,37(11):1372-1377,6.基金项目
国家重点基础研究发展计划(973)(2015CB655004) （973）
国家重点研发计划(2016YFB0401504,2016YFF0203603) （2016YFB0401504,2016YFF0203603）
广东省自然科学基金(2016A030313459) （2016A030313459）
广东省科技计划(2014B090915004,2016B090907001,2014A040401014,2016B090906002,2015A010101323,2014B090916002,2015A010101323,2015B090915001,2015B090914003) （2014B090915004,2016B090907001,2014A040401014,2016B090906002,2015A010101323,2014B090916002,2015A010101323,2015B090915001,2015B090914003）
广东省教育厅项目(2014KZDXM010,2015KTSCX003) （2014KZDXM010,2015KTSCX003）
中央高校基本科研业务费专项资金(2015ZP024,2015ZZ063) （2015ZP024,2015ZZ063）
新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室开放课题(KF201508)资助项目 （KF201508）
