重型机械Issue(5)：56-60,5.
大行程无耦合二维精密微定位平台设计与分析
Design and analysis on 2-DOF precision micro-positioning stage for long stroke without coupling
摘要
关键词
微定位平台/菱形位移放大机构/压电陶瓷驱动器/大行程Key words
micro-positioning stage/diamond displacement amplification/piezo actuator/long stroke分类
机械制造引用本文复制引用
徐方超,陆鹤,孙凤,段振云..大行程无耦合二维精密微定位平台设计与分析[J].重型机械,2016,(5):56-60,5.基金项目
国家自然科学基金(51105257,51310105025)及辽宁省高等学校杰出青年学者成长计划(LQJ2014012),中国博士后科学基金(2015M571327),十二五国家科技支撑计划(2014BAF08B01)资助 （51105257,51310105025）
