人工晶体学报2016，Vol.45Issue(11)：2591-2595,5.
热丝CVD法沉积固态扩散源制备晶硅太阳电池p+/n+发射极研究
p +/n + Emitter of the Crystalline Silicon Solar Cell Fabricated with Solid Diffusion Source Deposited by HWCVD Method
摘要
关键词
HWCVD/晶硅太阳电池/固态扩散源/发射极/方阻Key words
HWCVD/crystalline silicon solar cell/solid diffusion source/emitter/sheet resistance分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宿世超,王涛,韩宇哲,田罡煜,黄海宾,高超,岳之浩,袁吉仁,周浪..热丝CVD法沉积固态扩散源制备晶硅太阳电池p+/n+发射极研究[J].人工晶体学报,2016,45(11):2591-2595,5.基金项目
国家自然科学基金(61306084,61464007) （61306084,61464007）
江苏省能量转换材料与技术重点实验室开放课题基金(NJ20160032) （NJ20160032）
江西省重点研发计划-技术引进与合作研究-重点项目(2016BBH80043) （2016BBH80043）
