高电压技术2016，Vol.42Issue(12)：3741-3746,6.DOI:10.13336/j.1003-6520.hve.20161128003
低气压He/N2混合气体的辉光放电数值模拟
Numerical Simulation of He/N2 Mixture Glow Discharge at Low Pressure
摘要
关键词
低气压氦气辉光放电/低温等离子体/彭宁电离/氮气杂质/辉光放电清洗Key words
helium glow discharge at low pressure/low temperature plasma/Penning ionization/nitrogen impurity/glow discharge cleaning引用本文复制引用
邹晓兵,杨新婷,付洋洋,罗海云,杨硕,王新新..低气压He/N2混合气体的辉光放电数值模拟[J].高电压技术,2016,42(12):3741-3746,6.基金项目
国家自然科学基金(51377095 （）
51107067).Project supported by National Natural Science Foundation of China (51377095,51107067). （51377095,51107067）
