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4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压特性研究

蔡加法 陈厦平 吴少雄 吴正云

量子电子学报2016,Vol.33Issue(6):770-774,5.
量子电子学报2016,Vol.33Issue(6):770-774,5.DOI:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.06.018

4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压特性研究

Capacitance-voltage characteristics of 4H-SiC p-i-n ultraviolet photodetectors

蔡加法 1陈厦平 1吴少雄 1吴正云1

作者信息

  • 1. 厦门大学物理系, 福建 厦门 361005
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摘要

关键词

光电子学/4H-SiC/p-i-n紫外光电探测器/电容-电压/深能级缺陷

Key words

optoelectronics/4H-SiC/p-i-n ultraviolet photodetector/capacitance-voltage/deep-level defect

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

蔡加法,陈厦平,吴少雄,吴正云..4H-SiC p-i-n紫外光电探测器的电容-电压特性研究[J].量子电子学报,2016,33(6):770-774,5.

基金项目

Supported by National Natural Science Foundation of China(国家自然科学基金,61176049) (国家自然科学基金,61176049)

量子电子学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-5461

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