金刚石与磨料磨具工程2016，Vol.36Issue(5)：15-20,31,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0003
光催化辅助化学机械抛光CVD金刚石抛光液的研制
Preparation of slurry for photocatalytic assisted chemical mechanical polishing CVD diamond
摘要
关键词
CVD金刚石/二氧化钛/光催化/化学机械抛光/抛光液Key words
CVD diamond/TiO2/photocatalytic/chemical mechanical polishing/polishing slurry分类
化学化工引用本文复制引用
苑泽伟,杜海洋,何艳,张悦..光催化辅助化学机械抛光CVD金刚石抛光液的研制[J].金刚石与磨料磨具工程,2016,36(5):15-20,31,7.基金项目
国家自然科学基金项目(51305278) （51305278）
中国博士后基金面上项目(2014M551124) （2014M551124）
沈阳市科技项目(F16-205-1-10). （F16-205-1-10）
