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304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

李庆 陈绍坤 彭亚男 秦洪权 付素芳 苏建修

金刚石与磨料磨具工程2016,Vol.36Issue(5):21-25,5.
金刚石与磨料磨具工程2016,Vol.36Issue(5):21-25,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

Chemical mechanical polishing process parameters of 304 stainless steel

李庆 1陈绍坤 2彭亚男 1秦洪权 3付素芳 1苏建修1

作者信息

  • 1. 河南科技学院机电学院,河南新乡453003
  • 2. 驻马店技师学院机械工程系,河南驻马店463000
  • 3. 河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作454000
  • 折叠

摘要

关键词

化学机械抛光/304不锈钢片/材料去除率/表面粗糙度

Key words

chemical mechanical polishing/304 stainless steel/material removal rate/surface roughness

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李庆,陈绍坤,彭亚男,秦洪权,付素芳,苏建修..304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2016,36(5):21-25,5.

基金项目

国家自然科学基金面上项目资助(NO.51375149) (NO.51375149)

金刚石与磨料磨具工程

OACSTPCD

1006-852X

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