表面技术2016，Vol.45Issue(11)：10-15,6.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.11.002
高取向金刚石薄膜的制备
Preparation of High Oriented Diamond Films
摘要
关键词
MPECVD/甲烷体积分数/氮气流量/高取向/金刚石薄膜/表面形貌Key words
MPECVD/methane volume fraction/nitrogen flow rate/high oriented/diamond film/surface morphology分类
矿业与冶金引用本文复制引用
熊礼威,彭环洋,汪建华,崔晓慧,龚国华..高取向金刚石薄膜的制备[J].表面技术,2016,45(11):10-15,6.基金项目
国家自然科学基金项目(51402220) （51402220）
武汉工程大学青年基金项目(Q201501)National Natural Foundation of China(51402220) （Q201501）
Wuhan Institute of Technology Youth Fund Project(Q201501) （Q201501）
