硅酸盐通报2016，Vol.35Issue(12)：3910-3914,5.
溅射时间对GZO薄膜光电性能的影响
Effects of Sputtering Time on Photoelectric Property of GZO Films
摘要
关键词
GZO薄膜/溅射时间/光电性能/射频磁控溅射Key words
GZO film/sputtering time/photoelectric property/RF magnetron sputtering分类
数理科学引用本文复制引用
丛芳玲,赵青南,刘旭,罗乐平,顾宝宝,董玉红,赵杰..溅射时间对GZO薄膜光电性能的影响[J].硅酸盐通报,2016,35(12):3910-3914,5.基金项目
湖北省重大科技创新计划项目(2013AAA005) （2013AAA005）
