硅酸盐学报2017，Vol.45Issue(1)：157-165,9.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2017.01.23
籽晶层辅助的高性能VO2薄膜的低温制备
Low-Temperature Preparation of High-Performance VO2 Film by Seed Layer
摘要
关键词
磁控溅射/氧化钒薄膜/两步溅射工艺/籽晶层/低温Key words
magnetron sputtering/vanadium oxide film/two steps sputtering method/seed layer/low temperature分类
化学工程引用本文复制引用
万冬云,李应成,郭贝贝,丁卓翰,罗宏杰,高彦峰..籽晶层辅助的高性能VO2薄膜的低温制备[J].硅酸盐学报,2017,45(1):157-165,9.基金项目
国家自然科学基金(51325203) （51325203）
国家自然科学基金大科学装置联合基金(U1632108)项目. （U1632108）
