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大尺寸熔石英采样光栅的研究进展

刘颖刘正坤邱克强饶欢乐蒋晓龙陈火耀徐向东洪义麟付绍军

光学精密工程2016，Vol.24Issue(12)：2896-2901,6.

光学精密工程2016，Vol.24Issue(12)：2896-2901,6.DOI:10.3788/OPE.20162412.2896

大尺寸熔石英采样光栅的研究进展

Advances in large-aperture beam sampling gratings

刘颖 ¹刘正坤 ¹邱克强 ¹饶欢乐 ²蒋晓龙 ³陈火耀 ¹徐向东 ¹洪义麟 ¹付绍军¹

作者信息

1. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029
2. 杭州电子科技大学生命信息与仪器工程学院浙江杭州310018
3. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心工程光学部,四川绵阳621900
折叠

摘要

关键词

熔石英/采样光栅/采样效率/激光损伤阈值/亚表面损伤/抛光/刻蚀/综述

Key words

fused silica/Beam Sampling Grating (BSG)/sampling efficiency/laser-induced damage threshold/subsurface damage/polishing/etching/review

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘颖,刘正坤,邱克强,饶欢乐,蒋晓龙,陈火耀,徐向东,洪义麟,付绍军..大尺寸熔石英采样光栅的研究进展[J].光学精密工程,2016,24(12):2896-2901,6.

基金项目

国家重大专项资助项目（）

中国科学院知识创新工程重要方向项目(No.GY2011053005) （No.GY2011053005）

国家自然科学基金资助项目(No.10975139) （No.10975139）

安徽省科技攻关项目(No.131015195) （No.131015195）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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