光学精密工程2016,Vol.24Issue(12):2916-2924,9.DOI:10.3788/OPE.20162412.2916
高性能光学合成石英玻璃的制备和应用
Preparation and application of high-performance synthetic optical fused silica glass
摘要
关键词
光学石英玻璃/化学气相沉积/等离子化学气相沉积/间接合成法/综述Key words
optical fused silica glass/chemical Vapor Deposition(CVD)/plasma chemical vapor deposition/indirect synthetic method/review分类
化学化工引用本文复制引用
聂兰舰,王玉芬,向在奎,王蕾,王慧..高性能光学合成石英玻璃的制备和应用[J].光学精密工程,2016,24(12):2916-2924,9.基金项目
国家国际科技合作专项资助项目(No.2012DFA51310) (No.2012DFA51310)
中国建筑材料科学研究总院前沿探索基金资助项目(No.YT-112) (No.YT-112)