光学精密工程2016，Vol.24Issue(12)：2931-2937,7.DOI:10.3788/OPE.20162412.2931
磁流变抛光对熔石英激光损伤特性的影响
Effect of magnetorheological finishing on laser damage properties of fused silica
摘要
关键词
磁流变抛光/熔石英/光学元件/氢氟酸(HF)动态刻蚀/激光损伤阈值Key words
Magnetorheological Finishing (MRF)/fused silica/optical component/optical element/Hydrogen Fluoride (HF) acid dynamic etching/Laser-Induced Damage Threshold (LIDT)分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
石峰,万稳,戴一帆,彭小强..磁流变抛光对熔石英激光损伤特性的影响[J].光学精密工程,2016,24(12):2931-2937,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51675526,No.91323302,No.51275521) （No.51675526,No.91323302,No.51275521）
