光学精密工程2016，Vol.24Issue(12)：2975-2982,8.DOI:10.3788/OPE.20162412.2975
小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析
Error analysis of ion beam figuring for fabrication of continuous phase plates with small feature structures
摘要
关键词
连续位相板/离子束修形/误差分析/面形匹配/定位精度Key words
Continuous Phase Plate (CPP)/ion beam figuring/error analysis/surface matching/positioning precision分类
数理科学引用本文复制引用
徐明进,戴一帆,解旭辉,周林..小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析[J].光学精密工程,2016,24(12):2975-2982,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.91323302) （No.91323302）
