光学精密工程2016，Vol.24Issue(12)：3000-3004,5.DOI:10.3788/OPE.20162412.3000
后处理对HfO2薄膜光学特性及抗激光损伤阈值的影响
Effects of posttreatments on optical properties and laser induced damage thresholds of HfO2 thin films
摘要
关键词
HfO2薄膜/镀膜技术/后处理/薄膜参数测量/薄膜光学特性/激光损伤阈值Key words
HfO2 film/coating technology/post-treatment/thin film parameter measurement/film optical property/laser induced damage threshold分类
数理科学引用本文复制引用
吴倩,罗晋,潘峰..后处理对HfO2薄膜光学特性及抗激光损伤阈值的影响[J].光学精密工程,2016,24(12):3000-3004,5.基金项目
大口径宽带低色散高阈值膜研制(No.2015AA8044064) （No.2015AA8044064）
