干涉条纹相位锁定系统

鲁森杨开明朱煜王磊杰张鸣

光学精密工程2017，Vol.25Issue(1)：1-7,7.

光学精密工程2017，Vol.25Issue(1)：1-7,7.DOI:10.3788/OPE.20172501.0001

Interference fringe phase locking system

鲁森 ¹杨开明 ¹朱煜 ¹王磊杰 ¹张鸣¹

作者信息

干涉曝光/相位锁定/曝光对比度/声光调制器/RTX

interference lithography/phase lock/exposure contrast/Acousto-Optic Modulator (AOM)/RTX

数理科学

鲁森,杨开明,朱煜,王磊杰,张鸣..干涉条纹相位锁定系统[J].光学精密工程,2017,25(1):1-7,7.

清华大学摩擦学国家重点实验室基金资助项目(No.SKLT12C01) （No.SKLT12C01）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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