光学精密工程2017，Vol.25Issue(1)：21-27,7.DOI:10.3788/OPE.20172501.0021
离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性
Characteristics of optical band gap of tantalum oxide thin film deposited by ion beam sputtering
摘要
关键词
Ta2O5薄膜/禁带宽度/Urbach带尾宽度/制备参数/影响权重Key words
Ta2O5 thin film/band gap/Urbach energy/preparative parameters/influence coefficient分类
数理科学引用本文复制引用
刘华松,杨霄,王利栓,姜玉刚,季一勤,陈德应..离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性[J].光学精密工程,2017,25(1):21-27,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61405145,No.61235011) （No.61405145,No.61235011）
天津市自然科学重点基金资助项目(No.15JCZDJC31900) （No.15JCZDJC31900）
中国博士后科学基金资助项目(No.2015T80115,No.2014M560104) （No.2015T80115,No.2014M560104）
