光学精密工程2017，Vol.25Issue(1)：133-140,8.DOI:10.3788/OPE.20172501.0133
米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制
Meter-scale thin film coating equipment based on meniscus-coating technology
摘要
关键词
弯月面/大面积/涂胶/液面调控/光学元件Key words
chemical coating/optical components/meniscus/large area/gluing/liquid level regulation分类
通用工业技术引用本文复制引用
徐佳,许文斌,卜和阳,卢振武,刘正坤,洪义麟,鱼卫星..米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制[J].光学精密工程,2017,25(1):133-140,8.基金项目
国际科技重大专项资助项目(No.2013ZX04001000-214) （No.2013ZX04001000-214）
国家自然科学基金资助项目(No.11504369) （No.11504369）
2014年吉林省博士后科研项目 （）
