光学精密工程2017，Vol.25Issue(1)：172-181,10.DOI:10.3788/OPE.20172501.0172
基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器
High resolution time grating angular displacement sensor based on planar coils
摘要
关键词
角位移测量/平面线圈/高分辨力/时栅/传感器Key words
angular displacement measurement/planar coil/high resolution/time grating/sensor分类
机械制造引用本文复制引用
鲁进,陈锡侯,武亮,汤其富..基于平面线圈的高分辨力时栅角位移传感器[J].光学精密工程,2017,25(1):172-181,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51505052 （）
No.51405049) （）
重庆市科技研发基地能力提升计划项目(No.cstc2014pt-sy40002) （No.cstc2014pt-sy40002）
