计量学报2017，Vol.38Issue(1)：43-46,4.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2017.01.09
用于音叉式原子力显微镜的探针制备
Preparation of Probe Tips Applied to Tuning Fork Atomic Force Microscopy
汪雅丽 1熊艳艳 2高思田 3周砚江 1施玉书3
作者信息
- 1. 浙江理工大学机械与自动控制学院,浙江杭州310027
- 2. 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京100192
- 3. 中国计量科学研究院,北京100029
- 折叠
摘要
关键词
计量学/原子力显微镜/钨探针/石英音叉/电化学腐蚀Key words
metrology/AFM/tungsten probe tip/quartz tuning fork/electrochemical etching分类
通用工业技术引用本文复制引用
汪雅丽,熊艳艳,高思田,周砚江,施玉书..用于音叉式原子力显微镜的探针制备[J].计量学报,2017,38(1):43-46,4.
