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微纳坐标测量机间接校准方法的探究

施玉书高思田宋小平郭鑫陈思文皮磊李伟李琪李适

计量学报2017，Vol.38Issue(1)：47-50,4.

计量学报2017，Vol.38Issue(1)：47-50,4.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2017.01.10

Research on an Indirect Calibration Method of Micro/nano Coordinate Measuring Machine

施玉书 ¹高思田 ²宋小平 ²郭鑫 ²陈思文 ³皮磊 ¹李伟 ²李琪 ²李适²

作者信息

计量学/微纳坐标测量机/间接校准/尺寸测量示值误差/探测误差

metrology/micro/nano CMM/indirect calibration/error of indication of size measurement/probing error

通用工业技术

施玉书,高思田,宋小平,郭鑫,陈思文,皮磊,李伟,李琪,李适..微纳坐标测量机间接校准方法的探究[J].计量学报,2017,38(1):47-50,4.

国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ03011208) （2011YQ03011208）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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