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飞秒激光烧蚀硅表面弹坑形貌偏振依赖性研究

纪煦 张莉英 丁红军 付宏鸽 吕玉梅

科技创新与应用Issue(4):38-39,2.
科技创新与应用Issue(4):38-39,2.

飞秒激光烧蚀硅表面弹坑形貌偏振依赖性研究

纪煦 1张莉英 1丁红军 1付宏鸽 1吕玉梅1

作者信息

  • 1. 北华航天工业学院 机电工程学院,河北 廊坊 065000
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摘要

关键词

飞秒激光/偏振/硅表面/弹坑

引用本文复制引用

纪煦,张莉英,丁红军,付宏鸽,吕玉梅..飞秒激光烧蚀硅表面弹坑形貌偏振依赖性研究[J].科技创新与应用,2017,(4):38-39,2.

基金项目

河北省科技计划项目(15211818) (15211818)

河北省高等学校科学技术研究项目(QN2016054)廊坊市科技局计划项目(2015011013) (QN2016054)

北华航天工业学院博士启动基金项目(BKY-2015-01) (BKY-2015-01)

科技创新与应用

2095-2945

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