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温度和He累积损伤对Er2O3薄膜相结构及结晶度的影响

石云龙 劳远侠 王玲 张海斌 邓爱红 汪渊

四川大学学报（自然科学版）2016，Vol.53Issue(6)：1340-1344,5.
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四川大学学报（自然科学版）2016，Vol.53Issue(6)：1340-1344,5.DOI:103969/j.issn.0490-6756.2016.11.026

温度和He累积损伤对Er2O3薄膜相结构及结晶度的影响

Effects of temperature and He cumulative damage on Er2O3 film phase structure and crystallinity

石云龙 1劳远侠 2王玲 3张海斌 3邓爱红 2汪渊1

作者信息

  • 1. 四川大学物理科学与技术学院,成都610064
  • 2. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳621900
  • 3. 四川大学原子核科学与技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室 成都 610064
  • 折叠

摘要

关键词

Er2O3薄膜/相稳定/He损伤

Key words

Er2O3 film/Phase stable/He damage

分类

数理科学

引用本文复制引用

石云龙,劳远侠,王玲,张海斌,邓爱红,汪渊..温度和He累积损伤对Er2O3薄膜相结构及结晶度的影响[J].四川大学学报（自然科学版）,2016,53(6):1340-1344,5.

基金项目

国家自然科学基金(51171124,11505121) （51171124,11505121）

国家国际科技合作专项(2014DFR50710) （2014DFR50710）

四川省科技支撑计划(2014GZ0004) （2014GZ0004）

四川大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

0490-6756

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