物联网技术2017，Vol.7Issue(1)：48-51,4.DOI:10.16667/j.issn.2095-1302.2017.01.013
中红外透明导电ITO薄膜的制备
摘要
关键词
射频磁控溅射/ITO薄膜/霍尔迁移率/光学性能分类
数理科学引用本文复制引用
吕博凡,武永梅..中红外透明导电ITO薄膜的制备[J].物联网技术,2017,7(1):48-51,4.基金项目
中国航天科技集团航天科技创新基金资助项目(CASC 2016HTF1401) （CASC 2016HTF1401）
上海航天科技创新基金资助项目(SATS AST2016078) （SATS AST2016078）
