西安科技大学学报2016，Vol.36Issue(6)：899-903,5.DOI:10.13800/j.cnki.xakjdxxb.2016.0623
氮化铝多层膜制备及其声表面波器件性能表征
Characterization of the AlN multilayer films and their application on surface acoustic wave devices
摘要
关键词
氮化铝多层膜/微观结构/声表面波器件/温度稳定性Key words
AlN multilayered films/microstructure/surface acoustic wave devices/temperature stability分类
数理科学引用本文复制引用
庞华锋..氮化铝多层膜制备及其声表面波器件性能表征[J].西安科技大学学报,2016,36(6):899-903,5.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(11504291) （11504291）
西安科技大学博士启动基金(2014QDJ017) （2014QDJ017）
西安科技大学培育基金(201343) （201343）
