真空电子技术Issue(6)：43-47,5.
微波技术在多晶硅制备过程中应用研究
Application of Microwave Technology in Polysilicon Preparation Process
蔺琎 1亢若谷 2彭金辉 3苏杰 1郭胜惠3
作者信息
- 1. 昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,云南昆明650093
- 2. 昆明理工大学工程训练中心,云南昆明650093
- 3. 昆明冶研新材料股份有限公司,云南昆明650000
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摘要
关键词
微波技术/多晶硅/制备/反应器Key words
Microwave technology/Polysilicon/Preparation, Reactor分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
蔺琎,亢若谷,彭金辉,苏杰,郭胜惠..微波技术在多晶硅制备过程中应用研究[J].真空电子技术,2016,(6):43-47,5.
