河北科技大学学报2017，Vol.38Issue(1)：26-31,6.DOI:10.7535/hbkd.2017yx01005
光波导器件应用及其表面光滑化研究综述
Review of applications and surface smoothing mechanisms of optical waveguide devices
摘要
关键词
光波导/光滑化/氢退火/表面粗糙度/光波导器件Key words
optical waveguide/smoothing/hydrogen annealing/surface roughness/optical waveguide devices分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
唐海泉,张辉,冀健龙,张强,菅傲群,桑胜波,段倩倩..光波导器件应用及其表面光滑化研究综述[J].河北科技大学学报,2017,38(1):26-31,6.基金项目
国家自然科学基金(51505324,91123036) （51505324,91123036）
