机电工程技术2017，Vol.46Issue(2)：91-93,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2017.02.021
激光干涉仪在高精度垂直度检测中的应用
Laser Interferometer Application in High Precision Detection of Verticality
司卫征 1郭文波 1古志行1
作者信息
- 1. 广州计量检测技术研究院,广东广州 510030
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摘要
关键词
激光干涉仪/垂直度测量仪/垂直度/激光分类
机械制造引用本文复制引用
司卫征,郭文波,古志行..激光干涉仪在高精度垂直度检测中的应用[J].机电工程技术,2017,46(2):91-93,3.
