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电化学刻蚀InP过程中电流密度对刻蚀深度的影响

梁凯华

科技创新与应用Issue(11)：27,1.
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科技创新与应用Issue(11)：27,1.

电化学刻蚀InP过程中电流密度对刻蚀深度的影响

梁凯华1

作者信息

  • 1. 长春理工大学理学院,吉林 长春 130000
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摘要

关键词

电流密度/刻蚀深度/影响

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梁凯华..电化学刻蚀InP过程中电流密度对刻蚀深度的影响[J].科技创新与应用,2017,(11):27,1.

科技创新与应用

2095-2945

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