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小规模6英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制

唐代飞 刘扬洪

科技创新与应用Issue(11)：71,1.
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科技创新与应用Issue(11)：71,1.

小规模6英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制

唐代飞 1刘扬洪1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第四十四研究所,重庆 400000
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摘要

关键词

特气系统/质量控制/管理与维护

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唐代飞,刘扬洪..小规模6英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制[J].科技创新与应用,2017,(11):71,1.

科技创新与应用

2095-2945

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