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硅片清洗技术的研究进展

任格格 丁红旗

科技创新与应用Issue(14)：59-61,3.
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科技创新与应用Issue(14)：59-61,3.

硅片清洗技术的研究进展

任格格 1丁红旗1

作者信息

  • 1. 辽宁工程技术大学研究生院材料工程系,辽宁 阜新 123000
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摘要

关键词

硅片/清洗/湿法/干法

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任格格,丁红旗..硅片清洗技术的研究进展[J].科技创新与应用,2017,(14):59-61,3.

科技创新与应用

2095-2945

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