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抗干扰微光机电麦克风

李高林 古仕林 李翔 高天雨

物联网技术2017，Vol.7Issue(3)：10-11,2.
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物联网技术2017，Vol.7Issue(3)：10-11,2.

抗干扰微光机电麦克风

李高林 1古仕林 1李翔 1高天雨1

作者信息

  • 1. 国防科学技术大学
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摘要

关键词

微光机电/MEMS/F-P腔

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李高林,古仕林,李翔,高天雨..抗干扰微光机电麦克风[J].物联网技术,2017,7(3):10-11,2.

物联网技术

2095-1302

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