世界有色金属Issue(6)：118-121,4.
三氯氢硅歧化法多晶硅生产工艺的热力学分析
Thermodynamic analysis of polysilicon production process by trichlorosilane disproportionation method
武珠峰 1郭小红 1范协诚 1银波1
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武珠峰,郭小红,范协诚,银波..三氯氢硅歧化法多晶硅生产工艺的热力学分析[J].世界有色金属,2017,(6):118-121,4.
