集成技术2017，Vol.6Issue(4)：2-9,8.
衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响规律研究
The Effects of Substrate Temperature on Homoepitaxial Growth of Single Crystal Diamond
摘要
关键词
同质外延生长/衬底温度/单晶金刚石分类
矿业与冶金引用本文复制引用
石磊,蒋春磊,牛卉卉,唐永炳..衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响规律研究[J].集成技术,2017,6(4):2-9,8.基金项目
国家自然科学基金项目(51302238) （51302238）
广东省创新团队项目(2013C090) （2013C090）
广东省科技计划项目(2014A010105032、2014A010106016、2015A010106008、2014A030310226、2014A030310482) （2014A010105032、2014A010106016、2015A010106008、2014A030310226、2014A030310482）
深圳市科技计划项目(JSGG20140417113430618、JSGG20140417113430647、JSKF20150925163525547、JSGG20150602143328010) （JSGG20140417113430618、JSGG20140417113430647、JSKF20150925163525547、JSGG20150602143328010）
广东省工程中心项目(20151487) （20151487）
深圳市工程实验室项目(20151837) （20151837）
中科院院级科研装备项目(yz201440) （yz201440）
