集成技术2017，Vol.6Issue(4)：10-19,10.
甲烷浓度对硬质合金微型立铣刀表面生长金刚石涂层的影响
Effect of Methane Concentration on Deposition of Diamond Thin Films on Cemented Carbide Micro End-Mill
摘要
关键词
热丝气相沉积/金刚石涂层/硬质合金/微型立铣刀/膜-基结合强度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张松全,王陶,唐永炳..甲烷浓度对硬质合金微型立铣刀表面生长金刚石涂层的影响[J].集成技术,2017,6(4):10-19,10.基金项目
广东省创新团队项目(2013C090) （2013C090）
广东省自然科学基金(2014A030310482) （2014A030310482）
深圳市科技计划项目(JCYJ20160122143155757) （JCYJ20160122143155757）
中国科学院科研设备项目(yz201440) （yz201440）
