集成技术2017，Vol.6Issue(4)：38-48,11.
面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究
Study on the Synthesis of High Quality Single Crystal Diamond by Chemical Vapor Deposition Using the Embeded Type of Substrate Holder with Highly Thermal Conductivity
摘要
关键词
单晶金刚石/同质外延生长/微波等离子体化学气相沉积/基片托盘设计/高功率密度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
谷继腾,杨扬,蒋春磊,石磊,牛卉卉,唐永炳..面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究[J].集成技术,2017,6(4):38-48,11.基金项目
国家自然科学基金项目(51402344) （51402344）
广东省创新团队项目(2013C090) （2013C090）
深圳市技术创新计划技术攻关项目(JSGG20160301173854530) （JSGG20160301173854530）
深圳市海外高层次人才创新创业计划(KQJSCX20160301145319) （KQJSCX20160301145319）
深圳市基础研究项目(JCYJ20160122143847150) （JCYJ20160122143847150）
