云南化工2017，Vol.44Issue(7)：82-84,3.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2017.07.028
还原炉内炽热多晶硅电阻率的测定与计算
Calculation of Hot Polysilicon Resistivity in CVD Reactor
杨楠 1詹水华 2王邵南3
作者信息
- 1. 新疆东方希望新能源有限公司,新疆 昌吉 831799
- 2. 江苏双良新能源装备有限公司,江苏 江阴 214444
- 3. 王邵南,四川郫都区知识产权局,四川 成都 611730
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杨楠,詹水华,王邵南..还原炉内炽热多晶硅电阻率的测定与计算[J].云南化工,2017,44(7):82-84,3.
