南昌工程学院学报2017，Vol.36Issue(4)：28-30,3.
n/p型掺杂非晶硅薄膜工艺优化研究
N/p type doped amorphous silicon thin films process optimization
何玉平 1黄海宾2
作者信息
- 1. 南昌工程学院 理学院,江西 南昌 330099
- 2. 南昌大学 光伏研究院,江西 南昌 330031
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摘要
关键词
掺杂非晶硅/电阻/气压/电流/流量比分类
数理科学引用本文复制引用
何玉平,黄海宾..n/p型掺杂非晶硅薄膜工艺优化研究[J].南昌工程学院学报,2017,36(4):28-30,3.
