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利用统计学的方法解决AlCu薄膜溅射过程中的缺陷

张伟

科技创新与应用Issue(30)：101-103,3.

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科技创新与应用Issue(30)：101-103,3.

利用统计学的方法解决AlCu薄膜溅射过程中的缺陷

张伟¹

作者信息

1. 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司,天津 300380
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摘要

关键词

MIM结构/裂纹/缺陷/DOE/实验设计/主成分分析

分类

信息技术与安全科学

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张伟..利用统计学的方法解决AlCu薄膜溅射过程中的缺陷[J].科技创新与应用,2017,(30):101-103,3.

科技创新与应用

ISSN：2095-2945

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