表面补偿的高雾度ZnO:Al及其在硅薄膜太阳电池中的应用OA北大核心CSCDCSTPCD
High Haze Textured ZnO:Al with Surface Compensation and Its Applications in Silicon Thin Film Solar Cell
采用稀盐酸对磁控溅射法制备的平面掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)薄膜表面进行湿法刻蚀制绒,分析了盐酸浓度和刻蚀时间对AZO薄膜表面的形貌特征和光电特性的影响.研究发现,湿法刻蚀导致AZO薄膜表面呈现大尺度的陨石坑形貌特征,随刻蚀时间增加,薄膜在大于500 nm的长波范围内光学透过率可维持在70%~75%,且800 nm处雾度值可高达48%,陷光能力快速增加,而面电阻率呈现逐渐增加趋势.高的盐酸浓度可以导致薄膜表面呈现较快凹型形貌特征,并可给出较…查看全部>>
As-deposited AZO thin films prepared by magnetron-sputtering were wet etched in diluted HCl to produce textured surface , and the effects of hydrochloric acid concentration and etching time on surface morphology , optical and electrical properties were investigated .The results indicate that the wet etched AZO film shows a large size crater morphology , a high transmittance of 70%-75%at the long wavelength after 500 nm, an increasement haze ratio as high as …查看全部>>
彭文博;刘大为;高虎;黄艳红;杨彦斌;于威
中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司,北京 102209中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司,北京 102209中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司,北京 102209河北大学物理科学与技术学院,保定071002河北大学物理科学与技术学院,保定071002河北大学物理科学与技术学院,保定071002
数理科学
掺铝氧化锌湿法刻蚀太阳电池雾度
ZnO:Alwet-etchingsolar cellhaze
《人工晶体学报》 2017 (10)
1930-1935,6
华能集团科技项目(TW-13-CERI01)
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