氮化镓MOCVD感应加热装置的优化设计OA北大核心CSCDCSTPCD
Optimization Design of GaN-MOCVD Induction Heating Device
为了设计一款成本低、效率高的中频感应加热器样机,利用ANSYS软件对感应加热立式氮化镓MOCVD反应室建立2D模型.首先分别通过改变加热线圈与石墨基座下表面距离及线圈之间的间距,研究分析其改变对石墨盘表面温度均匀性分布的影响,热-电耦合分析结果表明减小线圈和石墨之间的垂直距离及线圈之间的距离可以提高加热效率,并根据仿真结果对感应加热器的结构进行优化设计,确定加热效果较好的加热器结构.结合仿真与分析结果,制作出一台感应加热器样机.实验验证可知,石墨…查看全部>>
Purpose of this paper is to design a low cost,high efficiency medium frequency induction heater.The 2D model of the vertical GaN-MOCVD reactor with induction heating was performed by the finite element method.The structural analysis of the copper coils on temperature uniformity on the surface of graphite was researched;then thermal-electromagnetic coupling analysis reveals that lessening the change can increase efficiency of heat conduction.The structural de…查看全部>>
徐龙权;刘新卫;唐子涵;方颂
南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心,南昌330047南昌大学信息工程学院,南昌330031南昌大学信息工程学院,南昌330031南昌大学信息工程学院,南昌330031
信息技术与安全科学
感应加热MOCVDANSYS热-电耦合优化设计
heat conductionfinite element methodtemperature distributionoptimizationexperimentsmodelstructural analysisstructural design
《机械科学与技术》 2017 (12)
1921-1925,5
国家863计划项目(2012AA041002)与江西省科技厅重大科技专项(20114ABF06102)资助
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