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多弧离子镀制备TiAlSiN涂层的工艺研究

王昆仑 辛艳青

科技创新与应用Issue(1)：1-3,3.
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科技创新与应用Issue(1)：1-3,3.

多弧离子镀制备TiAlSiN涂层的工艺研究

王昆仑 1辛艳青1

作者信息

  • 1. 山东大学(威海)空间科学与物理学院,山东 威海 264209
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摘要

关键词

多弧离子镀/TiAlSiN/硬度/附着力/大颗粒

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

王昆仑,辛艳青..多弧离子镀制备TiAlSiN涂层的工艺研究[J].科技创新与应用,2018,(1):1-3,3.

基金项目

山东大学实验室软件建设项目"脉冲偏压在磁控溅射镀膜设备中的应用研究"" （）

科技创新与应用

2095-2945

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