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磁控溅射法制备Fe-Si化含物薄膜的研究

高伟超

陶瓷Issue(10)：35-39,5.

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陶瓷Issue(10)：35-39,5.

磁控溅射法制备Fe-Si化含物薄膜的研究

高伟超¹

作者信息

1. 陕西金泰氯碱化工有限公司陕西榆林718100
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摘要

关键词

磁控溅射/晶体结构/X射线衍射/Fe-Si化合物

分类

化学化工

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高伟超..磁控溅射法制备Fe-Si化含物薄膜的研究[J].陶瓷,2017,(10):35-39,5.

陶瓷

ISSN：1002-2872

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