电子科技2018，Vol.31Issue(2)：56-60,5.DOI:10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2018.02.015
硅各向异性腐蚀的仿真模型研究
Study on Simulation Model of Anisotropic Etching of Silicon
摘要
关键词
硅/各向异性腐蚀/仿真方法/模拟精度和模拟效率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
严一峰,方玉明..硅各向异性腐蚀的仿真模型研究[J].电子科技,2018,31(2):56-60,5.基金项目
江苏省自然科学基金(BK20131380) （BK20131380）
南京邮电大学大学生创新训练计划项目(XYB2017057) （XYB2017057）
