南华大学学报（自然科学版）2017，Vol.31Issue(4)：86-89,4.
沉积温度对直流磁控溅射TiN薄膜结构和 表面形貌的影响
Effect of Deposition Temperature on Structure and Surface Morphology of TiN Thin Films Prepared by DC Magnetron Sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/锆合金/氮化钛/沉积温度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
肖畅飞,邹树梁,唐德文,李奎江,刘昌福..沉积温度对直流磁控溅射TiN薄膜结构和 表面形貌的影响[J].南华大学学报（自然科学版）,2017,31(4):86-89,4.基金项目
核设施退役和核泄漏安全处理技术及装备研发( 02072012KIT01) （ 02072012KIT01）
