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微波组件内部多余物控制技术研究

曹向荣 赵涌 吴伟伟 杨宇恺

科技创新与应用Issue(8)：50-51,2.
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科技创新与应用Issue(8)：50-51,2.

微波组件内部多余物控制技术研究

曹向荣 1赵涌 1吴伟伟 1杨宇恺1

作者信息

  • 1. 上海航天电子通讯设备研究所,上海 200000
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摘要

关键词

微波组件/多余物/气相清洗/PIND

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曹向荣,赵涌,吴伟伟,杨宇恺..微波组件内部多余物控制技术研究[J].科技创新与应用,2018,(8):50-51,2.

科技创新与应用

2095-2945

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