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Al0.17Ga0.83As/GaAs(001)薄膜退火过程的热力学分析

王一杨晨郭祥王继红刘雪飞魏节敏郎啟智罗子江丁召

物理学报2018，Vol.67Issue(8)：36-42,7.

物理学报2018，Vol.67Issue(8)：36-42,7.DOI:10.7498/aps.67.20172718

Al0.17Ga0.83As/GaAs(001)薄膜退火过程的热力学分析

Thermodynamic analysis of Al0.17Ga0.83As/GaAs (001) in annealing process

王一 ¹杨晨 ²郭祥 ¹王继红 ²刘雪飞 ¹魏节敏 ²郎啟智 ¹罗子江 ²丁召¹

作者信息

1. 贵州大学大数据与信息工程院, 贵阳 550025
2. 教育部半导体功率器件可靠性工程中心, 贵阳 550025
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摘要

关键词

AlGaAs/薄膜/退火

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王一,杨晨,郭祥,王继红,刘雪飞,魏节敏,郎啟智,罗子江,丁召..Al0.17Ga0.83As/GaAs(001)薄膜退火过程的热力学分析[J].物理学报,2018,67(8):36-42,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号: 61564002, 11664005, 61604046)和贵州省科学技术基金(批准号: 黔科合J字[2014]2046,黔科合LH字[2016]7436, 黔科合基础[2017]1055)资助的课题. （批准号: 61564002, 11664005, 61604046）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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Al0.17Ga0.83As/GaAs(001)薄膜退火过程的 热力学分析

Al0.17Ga0.83As/GaAs(001)薄膜退火过程的 热力学分析

Thermodynamic analysis of Al0.17Ga0.83As/GaAs (001) in annealing process

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Al0.17Ga0.83As/GaAs(001)薄膜退火过程的热力学分析