表面技术2018，Vol.47Issue(4)：24-28,5.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.004
紫外脉冲激光辐刻单晶金刚石的研究
Single Crystal Diamond Trenched by UV Pulsed Laser
摘要
关键词
金刚石/紫外脉冲激光/脉冲频率/脉冲能量/光化学作用/等离子体诊断/光发射谱分类
矿业与冶金引用本文复制引用
袁禾蔚,李佳君,刘浩,李震睿,徐锴,孙占峰,孙雪,陈广超..紫外脉冲激光辐刻单晶金刚石的研究[J].表面技术,2018,47(4):24-28,5.基金项目
国家自然科学基金(50128790) （50128790）
中科院百人计划,科学院装备计划项目(yz201356) （yz201356）
河北省科技计划项目(14291110D) （14291110D）
北京市科委(Z151100003315024) （Z151100003315024）
