表面技术2018，Vol.47Issue(4)：90-95,6.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.013
金刚石表面刻蚀技术研究进展
Research Progress of Diamond Surface Etching Technology
摘要
关键词
金刚石/表面刻蚀/等离子刻蚀/熔盐刻蚀/气相刻蚀/固相刻蚀分类
化学化工引用本文复制引用
窦志强,肖长江,栗正新..金刚石表面刻蚀技术研究进展[J].表面技术,2018,47(4):90-95,6.基金项目
河南省教育厅自然科学基金资助项目(15A430022) （15A430022）
